ഉയർന്ന-ശുദ്ധത ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് സപ്ലൈ സിസ്റ്റത്തിന്റെ ഒരു പ്രധാന ഭാഗമാണ്, ആവശ്യമായ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി വാതകം ഉപയോഗത്തിലിറങ്ങാനുള്ള പ്രധാന സാങ്കേതികത, ഇപ്പോഴും യോഗ്യതയുള്ള ഗുണനിലവാരം നിലനിർത്തുന്നതിനുള്ള പ്രധാന സാങ്കേതികത; ഉയർന്ന-ശുദ്ധത ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ സിസ്റ്റത്തിന്റെ ശരിയായ രൂപകൽപ്പന, ഫിറ്റിംഗുകളുടെയും അനുബന്ധ ഉപകരണങ്ങളുടെയും തിരഞ്ഞെടുപ്പ്, നിർമ്മാണം, ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ, പരിശോധന എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, വലിയ തോതിലുള്ള സംയോജിത സർക്യൂട്ടുകൾ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്ന മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ് പ്രതിനിധീകരിക്കുന്ന ഉൽപന്നങ്ങളുടെ വിശുദ്ധി വാതകങ്ങളുടെയും അശുദ്ധിയുടെയും ഉള്ളടക്കത്തെക്കുറിച്ചുള്ള കൂടുതൽ കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ കൂടുതലായി ആശങ്കപ്പെടുത്തുന്നതും ized ന്നിപ്പറയുക. മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുക്കലിൽ നിന്നുള്ള ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗിന്റെ ചുരുക്കവിവരണം ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ്of നിർമ്മാണവും സ്വീകാര്യതയും ദൈനംദിന മാനേജുമെന്റും.
സാധാരണ വാതക തരം
ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിലെ സാധാരണ വാതകങ്ങളുടെ വർഗ്ഗീകരണം:
സാധാരണ വാതകങ്ങൾ(ബൾക്ക് വാതകം): ഹൈഡ്രജൻ (എച്ച്2), നൈട്രജൻ (n2), ഓക്സിജൻ (ഓ2), ആർഗോൺ (എ2), മുതലായവ.
പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾsih ആണ്4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,എച്ച്എൽ,CF4 ,NH3,പോക്ക്3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, ബിഎൽ3 ,Sif4 ,സിഎൽഎഫ്3 ,ഗാ,C2F6, N2O,F2,എച്ച്എഫ്,എച്ച്ബിആർ എസ്എഫ്6...... തുടങ്ങിയവ.
പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ തരങ്ങൾ സാധാരണയായി നശിപ്പിക്കുന്നതായി തരംതിരിക്കാംവാതകം, വിഷാംശംവാതകം, കത്തുന്നവാതകം, ജ്വലനീയമായവാതകം, നിഷ്ക്രിയത്വംവാതകംമുതലായവ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങൾ സാധാരണയായി ഇനിപ്പറയുന്നവയായി തരംതിരിക്കുന്നു.
(i) നശിപ്പിക്കുക / വിഷാംശംവാതകം: HCL, BF3, ഡബ്ല്യു.എഫ്6, എച്ച്ബിആർ, സിഹ്2Cl2, എൻഎച്ച്3, പി.എച്ച്3, സിഎൽ2, ബിഎൽ3... തുടങ്ങിയവ.
(ii) ഫ്ലമിബിലിറ്റിവാതകം: എച്ച്2, സി4, സിഹ്4, പി.എച്ച്3, ആഷ് 3, സിഹ്2Cl2, ബി2H6, CH2F2,മുട്ട3F, കോ ... തുടങ്ങിയവ.
(iii) ജ്വലനക്ഷമതവാതകം: O2, സിഎൽ2, എൻ2ഓ, എൻഎഫ്3... തുടങ്ങിയവ.
(iv) നിഷ്ക്രിയത്വംവാതകം: എൻ2, സി.എഫ്4, സി2F6, സി4F8,SF6, സി2, നെ, കെ ആർ, അദ്ദേഹം ... തുടങ്ങിയവ.
പല അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങളും മനുഷ്യശരീരത്തിന് ഹാനികരമാണ്. പ്രത്യേകിച്ചും, ഈ വാതകങ്ങളിൽ ചിലത്, സിഹ് പോലുള്ള4 സ്വതസിദ്ധമായ ജ്വലനം, ഒരു ചോർച്ച വായുവിലെ ഓക്സിജനുമായി അക്രമാസക്തമായി പ്രതികരിക്കുകയും കത്തിക്കാൻ തുടങ്ങുകയും ചെയ്യും; ആഷ്3വളരെ വിഷാംശം, ഏതെങ്കിലും ചെറിയ ചോർച്ച മനുഷ്യജീവിതത്തിന്റെ അപകടത്തിന് കാരണമായേക്കാം, ഈ വ്യക്തമായ അപകടങ്ങൾ കാരണം, സിസ്റ്റം ഡിസൈനിന്റെ സുരക്ഷയ്ക്കുള്ള ആവശ്യകതകൾ പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്നതാണ്.
വാതകങ്ങളുടെ ആപ്ലിക്കേഷൻ വ്യാപ്തി
ആധുനിക വ്യവസായത്തിന്റെ ഒരു പ്രധാന അടിസ്ഥാന അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളായി, മെറ്റലർ, സ്റ്റീൽ, പെട്രോളിയം, കെമിക്കൽ വ്യവസായം, സെറാമിക്സ്, ബിൽഡിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾ, നിർമ്മാണം, ഭക്ഷ്യവസ്തുക്കൾ, മെഡിക്കൽ മേഖലകൾ എന്നിവയിൽ ധാരാളം സാധാരണ വാതകങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ മേഖലകളുടെ ഉയർന്ന സാങ്കേതികവിദ്യയെക്കുറിച്ച് ഗ്യാസ് പ്രയോഗത്തിൽ ഒരു പ്രധാന സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു, ഇത് അതിന്റെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത അസംസ്കൃത ഭൗമകരമായ വാതക അല്ലെങ്കിൽ പ്രോസസ് വാതകം. വിവിധ പുതിയ വ്യവസായ മേഖലകളുടെയും ആധുനിക ശാസ്ത്രത്തിന്റെയും ആധുനികവുമായ വിവിധ പുതിയ വ്യവസായ മേഖലകളുടെയും ആധുനിക ശാസ്ത്രത്തിന്റെയും ആധുനികവുമായ ആവശ്യങ്ങൾക്കും പ്രമോഷനിലും മാത്രം, വാതക ഉൽപന്നങ്ങൾ, വൈവിധ്യത്തിന്റെയും ഗുണനിലവാരത്തിന്റെയും പരിധിയിൽ വാതക വ്യവസായ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ വികസിപ്പിക്കാൻ കഴിയും.
മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഗ്യാസ് ആപ്ലിക്കേഷൻ
വാതകത്തിന്റെ ഉപയോഗം എല്ലായ്പ്പോഴും അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിച്ചിട്ടുണ്ട്, പ്രത്യേകിച്ച് അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ, പരമ്പരാഗത ulsi, നിലവിലെ മൈക്രോ-ഇലക്ട്രോ-മെക്കാനിക്കൽ വരെ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇവയെല്ലാം ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയായി വിളിക്കപ്പെടുന്നവയാണ്. വാതകത്തിന്റെ വിശുദ്ധിക്ക് ഘടകങ്ങളുടെയും ഉൽപ്പന്ന വിളവിന്റെയും പ്രകടനത്തെ നിർണ്ണായക സ്വാധീനം ഉണ്ട്, ഗ്യാസ് വിതരണത്തിന്റെ സുരക്ഷ ഉദ്യോഗസ്ഥരുടെ ആരോഗ്യവും സസ്യ പ്രവർത്തനങ്ങളുടെ സുരക്ഷയുമായി ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി വാതക ഗതാഗതത്തിലെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി പൈപ്പിംഗിന്റെ പ്രാധാന്യം
സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ഉരുകുകയും മെറ്റീരിയൽ ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യുന്ന പ്രക്രിയയിൽ, 200 ഗ്രാം ഗ്യാസ് ഒരു ടണ്ണിന് ആഗിരണം ചെയ്യാൻ കഴിയും. സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിന്റെ പ്രോസസ്സിംഗിന് ശേഷം, വിവിധ മലിനീകരണങ്ങളിൽ അതിന്റെ ഉപരിതല സ്റ്റിക്കി മാത്രമല്ല, മെറ്റൽ ലാറ്റിസത്തിലും ഒരു നിശ്ചിത അളവിൽ വാതകം ആഗിരണം ചെയ്തു. പൈപ്പ്ലൈനിലൂടെ വായുസഞ്ചാരമുള്ളപ്പോൾ, മെറ്റൽ ആഗിരണം ചെയ്യുന്നു വാതകത്തിന്റെ ഈ ഭാഗം വായുസഞ്ചാരം വീണ്ടും നൽകുകയും ശുദ്ധമായ വാതകം മലിനമാക്കുകയും ചെയ്യും. ട്യൂബിലെ വായുസഞ്ചാരം നിരന്തരമായ ഒഴുക്കും, ട്യൂബ് വാതകം സമ്മർദ്ദം ചെലുത്തുന്നു, ട്യൂബ് നിർത്തുന്ന വാതകം പരിഹരിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു മർദ്ദം കുറയുന്നു, കൂടാതെ ട്യൂബിലെ ശുദ്ധമായ വാതകവും ട്യൂബിൽ മാലിന്യങ്ങളായി പ്രവേശിക്കുന്നു. അതേസമയം, ആഡംബരവും പ്രമേയവും ആവർത്തിക്കുന്നു, അതിനാൽ ട്യൂബിന്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിലെ ലോഹവും ഒരു നിശ്ചിത അളവിലുള്ള പൊടി ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു, ഈ മെറ്റൽ പൊടിപടലങ്ങൾ ട്യൂബിനുള്ളിൽ ശുദ്ധമായ വാതകം മലിനമാക്കുന്നു. ട്യൂബിന്റെ ഈ സ്വഭാവം ഗതാഗതത്തിലുള്ള വാതകത്തിന്റെ വിശുദ്ധി ഉറപ്പാക്കേണ്ടത് അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്, അതിന് ട്യൂബിന്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിന്റെ വളരെ ഉയർന്ന മിനുസമാർന്നത് ആവശ്യമാണ്, മാത്രമല്ല ഉയർന്ന വസ്ത്രം.
ശക്തമായ അസ്ഥിബന്ധമുള്ള പ്രകടനമുള്ള വാതകം ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, നാവോൺ-റെസിസ്റ്റന്റ് സ്റ്റെയിൻസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ പൈപ്പിംഗിനായി ഉപയോഗിക്കണം. അല്ലാത്തപക്ഷം, നാശത്തെ മൂലമുള്ള അകത്തെ ഉപരിതലത്തിൽ പൈപ്പ് ഉണ്ടാക്കും, ഗുരുതരമായ കേസുകളിൽ, ലോഹ വഴുതന അല്ലെങ്കിൽ സുഷിരത്തിന്റെ ഒരു വലിയ പ്രദേശം ഉണ്ടാകും, ഇത് വിതരണം ചെയ്യാനുള്ള ശുദ്ധമായ വാതകം മലിനമാക്കും.
ഉയർന്ന സത്യസന്ധതയും ഉയർന്ന ശുചിത്വ വാതക പ്രക്ഷേപണത്തിന്റെയും വലിയ ഫ്ലോ നിരക്കിന്റെ വിതരണ പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെയും ബന്ധം.
തത്ത്വത്തിൽ, അവയെല്ലാം ഇംതിയാസ്, വെൽഡിംഗ് പ്രയോഗിക്കുമ്പോൾ ഉപയോഗിക്കുന്ന ട്യൂബുകൾക്ക് ഓർഗനൈസേഷനിൽ മാറ്റമില്ല. ഒരു കാർബൺ ഉള്ളടക്കമുള്ള മെറ്റീരിയലുകൾ വെൽഡിംഗ്, പൈപ്പിനുള്ളിൽ വാതകങ്ങളുടെ വായുവിനിമയത്തിന് വിധേയമാണ്, ഇത് പരിഭ്രാന്തരായ വാതകത്തിന്റെ പരസ്പര അകലം, വരണ്ടതും ശുചിത്വവും നശിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് നമ്മുടെ എല്ലാ ശ്രമങ്ങളും നഷ്ടപ്പെടുത്തുന്നു.
ചുരുക്കത്തിൽ, ഉയർന്ന ശുദ്ധീകരണ ഗ്യാസ്, സ്പെഷ്യൽ ഗ്യാസ് ട്രാൻസ്മിഷൻ പൈപ്പ്ലൈൻ എന്നിവയ്ക്കായി, ഉയർന്ന ശുദ്ധീകരണം ഗ്യാസ് വിതരണത്തിൽ ഉയർന്ന-പ്യൂരിറ്റി സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പിന്റെ പ്രത്യേക ചികിത്സ ഉപയോഗിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ് (ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി പൈപ്പ്ലൈൻ സിസ്റ്റം ഉൾപ്പെടുത്തുന്നത് ഒരു സുപ്രധാന മിഷൻ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു.
ട്രാൻസ്മിഷനും വിതരണവുമായ പൈപ്പ്ലൈനുകൾക്കായുള്ള ക്ലീൻ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പൊതുവായ ആശയം
പൈപ്പിംഗിനൊപ്പം ഉയർന്ന ശുദ്ധവും വൃത്തിയാക്കുന്നതുമായ ഗ്യാസ് ബോഡി ട്രാൻസ്മിഷൻ അർത്ഥമാക്കുന്നത് വാതകത്തിന്റെ മൂന്ന് വശങ്ങൾ കടത്തിവിടുന്നതിന് ചില ആവശ്യങ്ങളോ നിയന്ത്രണങ്ങളോ ഉണ്ട്.
ഗ്യാസ് പരിശുദ്ധി: ജിഗസ് പരിശുദ്ധിയിലെ അശുദ്ധി അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ ഉള്ളടക്കം: വാതകത്തിലെ അശുദ്ധിയുടെ അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ ഉള്ളടക്കം, സാധാരണയായി 99.999% വരെയാണ്, പിപിബി, പിപിബി, പിപിബി.
വരൾച്ച: ഗ്യാസ് ഈർപ്പം, അല്ലെങ്കിൽ നനഞ്ഞതായി എന്ന തുക സാധാരണയായി മഞ്ഞുവീഴ്ചയിൽ പ്രകടിപ്പിക്കുന്നത്, അന്തരീക്ഷമർമ്മ മർദ്ദം മഞ്ഞുവീഴ്ച -70 പോലുള്ള മഞ്ഞുവീഴ്ചയിൽ പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു. സി.
ശുചിത്വം: ഗ്യാസ്, കണികയുടെ എണ്ണം μm- ൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്ന മലിനീകരണ കണങ്ങളുടെ എണ്ണം, പ്രകടിപ്പിക്കുന്നത്, കംപ്രസ്സുചെയ്ത വായുവിനായി, താരതമ്യപ്പെടുത്തിയ വായുവിനായി, അനുവദനീയമായ ഖര അവശിഷ്ടങ്ങളുടെ എത്ര മിഗ് / എം 3, ഇത് എണ്ണയുടെ അളവ് ഉൾക്കൊള്ളുന്നു.
മലിനീകരണ വലുപ്പ വർഗ്ഗീകരണം: മലിനീകരണം, പ്രധാനമായും പൈപ്പ്ലൈൻ സ്കോറിംഗ്, ധനികരെ, അദൃശ്യമായ സോട്ട് കണികകൾ, അതുപോലെ തന്നെ മൈതാനസമയത്ത്, ഗ്യാജനങ്ങൾ എന്നിവ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു, മുതലായവയും
a) വലിയ കണങ്ങൾ - 5μm ന് മുകളിലുള്ള കണിക വലുപ്പം
b) കണിക - 0.1μm മുതൽ 5μM വരെ മെറ്റീരിയൽ വ്യാസം
സി) അൾട്രാ-മൈക്രോ കണികകൾ - കണിക വലുപ്പം 0.1 മിനിറ്റിൽ താഴെ.
ഈ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ആപ്ലിക്കേഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന്, കണിക വലുപ്പവും μm യൂണിറ്റുകളെയും മനസ്സിലാക്കാൻ, റഫറൻസിനായി ഒരു സെറ്റ് നിർദ്ദിഷ്ട കണിക സ്റ്റാറ്റസ് നൽകിയിട്ടുണ്ട്
നിർദ്ദിഷ്ട കണങ്ങളുടെ താരതമ്യമാണ് ഇനിപ്പറയുന്നത്
| പേര് / കണിക വലുപ്പം (μm) | പേര് / കണിക വലുപ്പം (μm) | പേര് / കണിക വലുപ്പം (μm) |
| വൈറസ് 0.003-0.0 | എയറോസോൾ 0.03-1 | എയറോസോളിസ് മൈക്രോഡ്രോപ്ലെറ്റ് 1-12 |
| ന്യൂക്ലിയർ ഇന്ധനം 0.01-0.1 | പെയിന്റ് 0.1-6 | ആഷ് 1-200 പറക്കുക |
| കാർബൺ ബ്ലാക്ക് 0.01-0.3 | പാൽപ്പൊടി 0.1-10 | കീടനാശിനി 5-10 |
| 0.01-1 റെസിൻ ചെയ്യുക | ബാക്ടീരിയ 0.3-30 | സിമൻറ് പൊടി 5-100 |
| സിഗരറ്റ് സ്മോക്ക് 0.01-1 | മണൽ പൊടി 0.5-5 | കൂമ്പോള 10-15 |
| സിലിക്കൺ 0.02-0.1 | കീടല്യം 0.5-10 | മനുഷ്യ മുടി 50-120 |
| ക്രിസ്റ്റലൈസ്ഡ് ഉപ്പ് 0.03-0.5 | സാന്ദ്രതയുള്ള സൾഫർ പൊടി 1-11 | കടൽ മണൽ 100-1200 |
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂൺ -14-2022