അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയകൾക്കായുള്ള ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ള സാങ്കേതിക പരിഹാരങ്ങൾ

ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതക വിതരണ സംവിധാനത്തിന്റെ ഒരു പ്രധാന ഭാഗമാണ് ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ, ആവശ്യമായ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകം ഉപയോഗ സ്ഥലത്തേക്ക് എത്തിക്കുന്നതിനും ഇപ്പോഴും യോഗ്യതയുള്ള ഗുണനിലവാരം നിലനിർത്തുന്നതിനുമുള്ള പ്രധാന സാങ്കേതികവിദ്യയാണിത്;ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ സിസ്റ്റത്തിന്റെ ശരിയായ രൂപകൽപ്പന, ഫിറ്റിംഗുകളുടെയും അനുബന്ധ ഉപകരണങ്ങളുടെയും തിരഞ്ഞെടുപ്പ്, നിർമ്മാണവും ഇൻസ്റ്റാളേഷനും പരിശോധനയും ഉൾപ്പെടുന്നു.സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, വലിയ തോതിലുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്ന മൈക്രോഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ ഉൽപ്പാദനത്തിൽ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങളുടെ ശുദ്ധതയും അശുദ്ധിയും സംബന്ധിച്ച കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങളുടെ പൈപ്പിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയെ കൂടുതൽ ഉത്കണ്ഠാകുലരാക്കുകയും ഊന്നിപ്പറയുകയും ചെയ്തു.മെറ്റീരിയൽ സെലക്ഷനിൽ നിന്നുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗിന്റെ ഒരു ഹ്രസ്വ അവലോകനമാണ് താഴെ കൊടുത്തിരിക്കുന്നത്of നിർമ്മാണം, അതുപോലെ സ്വീകാര്യത, ദൈനംദിന മാനേജ്മെന്റ്.

സാധാരണ വാതകങ്ങളുടെ തരങ്ങൾ

ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിലെ സാധാരണ വാതകങ്ങളുടെ വർഗ്ഗീകരണം：

സാധാരണ വാതകങ്ങൾ(ബൾക്ക് ഗ്യാസ്): ഹൈഡ്രജൻ (എച്ച്₂₎, നൈട്രജൻ (എൻ₂), ഓക്സിജൻ (ഒ₂), ആർഗോൺ (എ₂), തുടങ്ങിയവ.

പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾSiH ആണ്₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,എച്ച്.സി.എൽ,CF₄ ,NH_3,പി.ഒ.സി.എൽ_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  ബി.സി.എൽ_{3 ,}എസ്ഐഎഫ്₄ ,സി.എൽ.എഫ്₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,എച്ച്ബിആർ എസ്എഫ്₆…… തുടങ്ങിയവ.

പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ തരങ്ങളെ പൊതുവെ നശിപ്പിക്കുന്നവയായി തരംതിരിക്കാംവാതകം, വിഷവാതകം, ജ്വലിക്കുന്നവാതകം, ജ്വലനംവാതകം, നിഷ്ക്രിയവാതകം, മുതലായവ. സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങളെ പൊതുവായി ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ തരംതിരിക്കുന്നു.

(i) നശിപ്പിക്കുന്ന / വിഷാംശംവാതകം: HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, ബിസിഎൽ₃…തുടങ്ങിയവ.

(ii) ജ്വലനംവാതകം: എച്ച്₂, സി.എച്ച്₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, ബി₂H₆, CH2F_2,സി.എച്ച്₃F, CO... etc.

(iii) ജ്വലനംവാതകം: ഒ₂, Cl₂, എൻ₂O, NF₃… തുടങ്ങിയവ.

(iv) നിഷ്ക്രിയംവാതകം: എൻ₂, സി.എഫ്₄, സി₂F₆, സി₄F_8,എസ്.എഫ്₆, CO₂, Ne, Kr, He... etc.

പല അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങളും മനുഷ്യശരീരത്തിന് ഹാനികരമാണ്.പ്രത്യേകിച്ചും, SiH പോലുള്ള ഈ വാതകങ്ങളിൽ ചിലത്₄ സ്വയമേവയുള്ള ജ്വലനം, ഒരു ചോർച്ച വായുവിലെ ഓക്സിജനുമായി അക്രമാസക്തമായി പ്രതികരിക്കുകയും കത്താൻ തുടങ്ങുകയും ചെയ്യുന്നിടത്തോളം;ഒപ്പം എ.എസ്.എച്ച്₃വളരെ വിഷാംശം, ഏതെങ്കിലും ചെറിയ ചോർച്ച മനുഷ്യജീവന്റെ അപകടത്തിന് കാരണമായേക്കാം, ഇത് ഈ വ്യക്തമായ അപകടങ്ങൾ മൂലമാണ്, അതിനാൽ സിസ്റ്റം രൂപകൽപ്പനയുടെ സുരക്ഷയുടെ ആവശ്യകതകൾ പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്നതാണ്.

വാതകങ്ങളുടെ ആപ്ലിക്കേഷന്റെ വ്യാപ്തി  

ആധുനിക വ്യവസായത്തിന്റെ ഒരു പ്രധാന അടിസ്ഥാന അസംസ്കൃത വസ്തുവെന്ന നിലയിൽ, വാതക ഉൽപന്നങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ മെറ്റലർജി, സ്റ്റീൽ, പെട്രോളിയം, രാസ വ്യവസായം, യന്ത്രങ്ങൾ, ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഗ്ലാസ്, സെറാമിക്സ്, നിർമ്മാണ സാമഗ്രികൾ, നിർമ്മാണം എന്നിവയിൽ ധാരാളം സാധാരണ വാതകങ്ങളോ പ്രത്യേക വാതകങ്ങളോ ഉപയോഗിക്കുന്നു. , ഭക്ഷ്യ സംസ്കരണം, മരുന്ന്, മെഡിക്കൽ മേഖലകൾ.പ്രത്യേകിച്ച് ഈ ഫീൽഡുകളുടെ ഉയർന്ന സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ വാതകത്തിന്റെ പ്രയോഗം ഒരു പ്രധാന സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു, മാത്രമല്ല അതിന്റെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത അസംസ്കൃത വസ്തുവായ വാതകമോ പ്രോസസ്സ് വാതകമോ ആണ്.വിവിധ പുതിയ വ്യാവസായിക മേഖലകളുടെയും ആധുനിക ശാസ്ത്ര സാങ്കേതിക വിദ്യകളുടെയും ആവശ്യങ്ങളും പ്രോത്സാഹനവും കൊണ്ട് മാത്രമേ ഗ്യാസ് വ്യവസായ ഉൽപന്നങ്ങൾ വൈവിധ്യത്തിലും ഗുണനിലവാരത്തിലും അളവിലും കുതിച്ചുചാട്ടത്തിലൂടെ വികസിപ്പിക്കാൻ കഴിയൂ.

മൈക്രോ ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഗ്യാസ് ആപ്ലിക്കേഷൻ

അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിൽ വാതകത്തിന്റെ ഉപയോഗം എല്ലായ്പ്പോഴും ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ പരമ്പരാഗത ULSI, TFT-LCD മുതൽ നിലവിലെ മൈക്രോ-ഇലക്ട്രോ-മെക്കാനിക്കൽ (MEMS) വ്യവസായം വരെ വിവിധ വ്യവസായങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉൽപന്നങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയായി വിളിക്കപ്പെടുന്ന അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ ഉപയോഗിക്കുന്നു.വാതകത്തിന്റെ പരിശുദ്ധി ഘടകങ്ങളുടെയും ഉൽപന്നങ്ങളുടെയും പ്രകടനത്തിൽ നിർണായക സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു, കൂടാതെ ഗ്യാസ് വിതരണത്തിന്റെ സുരക്ഷ ജീവനക്കാരുടെ ആരോഗ്യവും പ്ലാന്റ് പ്രവർത്തനങ്ങളുടെ സുരക്ഷയുമായി ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു.

ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതക ഗതാഗതത്തിൽ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള പൈപ്പിംഗിന്റെ പ്രാധാന്യം

സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ഉരുകി മെറ്റീരിയൽ നിർമ്മിക്കുന്ന പ്രക്രിയയിൽ, ഒരു ടണ്ണിൽ ഏകദേശം 200 ഗ്രാം വാതകം ആഗിരണം ചെയ്യാൻ കഴിയും.സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ സംസ്കരിച്ചതിനുശേഷം, അതിന്റെ ഉപരിതലം വിവിധ മലിനീകരണങ്ങളാൽ ഒട്ടിപ്പിടിക്കുക മാത്രമല്ല, അതിന്റെ ലോഹ ലാറ്റിസിലും ഒരു നിശ്ചിത അളവിൽ വാതകം ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്നു.പൈപ്പ് ലൈനിലൂടെ വായുപ്രവാഹം ഉണ്ടാകുമ്പോൾ, ലോഹം വാതകത്തിന്റെ ഈ ഭാഗം ആഗിരണം ചെയ്യുന്നു, ഇത് ശുദ്ധമായ വാതകത്തെ മലിനമാക്കുന്നു.ട്യൂബിലെ വായുപ്രവാഹം തുടർച്ചയായി ഒഴുകുമ്പോൾ, ട്യൂബ് സമ്മർദ്ദത്തിൻ കീഴിലുള്ള വാതകത്തെ ആഗിരണം ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ വായുപ്രവാഹം നിർത്തുമ്പോൾ, ട്യൂബ് ആഗിരണം ചെയ്യുന്ന വാതകം പരിഹരിക്കാൻ മർദ്ദം കുറയുന്നു, കൂടാതെ പരിഹരിച്ച വാതകവും ട്യൂബിലെ ശുദ്ധമായ വാതകത്തിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുന്നു. മാലിന്യങ്ങൾ പോലെ.അതേ സമയം, അഡോർപ്ഷനും റെസല്യൂഷനും ആവർത്തിക്കുന്നു, അതിനാൽ ട്യൂബിന്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിലുള്ള ലോഹവും ഒരു നിശ്ചിത അളവിൽ പൊടി ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഈ ലോഹ പൊടിപടലങ്ങൾ ട്യൂബിനുള്ളിലെ ശുദ്ധമായ വാതകത്തെയും മലിനമാക്കുന്നു.ട്രാൻസ്പോർട്ട് ചെയ്ത വാതകത്തിന്റെ പരിശുദ്ധി ഉറപ്പാക്കാൻ ട്യൂബിന്റെ ഈ സ്വഭാവം അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്, ഇതിന് ട്യൂബിന്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിന്റെ വളരെ ഉയർന്ന സുഗമത മാത്രമല്ല, ഉയർന്ന വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും ആവശ്യമാണ്.

ശക്തമായ വിനാശകരമായ പ്രകടനമുള്ള വാതകം ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, പൈപ്പിംഗിനായി തുരുമ്പിക്കാത്ത സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ഉപയോഗിക്കണം.അല്ലാത്തപക്ഷം, പൈപ്പ് നാശം മൂലം ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിൽ നാശനഷ്ടങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കും, ഗുരുതരമായ സന്ദർഭങ്ങളിൽ, ലോഹം നീക്കം ചെയ്യുന്നതിന്റെയോ സുഷിരത്തിന്റെയോ വലിയൊരു പ്രദേശം ഉണ്ടാകും, ഇത് വിതരണം ചെയ്യേണ്ട ശുദ്ധമായ വാതകത്തെ മലിനമാക്കും.

ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ളതും ഉയർന്ന വൃത്തിയുള്ളതുമായ ഗ്യാസ് ട്രാൻസ്മിഷൻ, വലിയ ഒഴുക്ക് നിരക്കുകളുടെ വിതരണ പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെ കണക്ഷൻ.

തത്വത്തിൽ, അവയെല്ലാം ഇംതിയാസ് ചെയ്യുന്നു, വെൽഡിംഗ് പ്രയോഗിക്കുമ്പോൾ ഉപയോഗിക്കുന്ന ട്യൂബുകൾ ഓർഗനൈസേഷനിൽ മാറ്റമൊന്നും വരുത്തേണ്ടതില്ല.വളരെ ഉയർന്ന കാർബൺ ഉള്ളടക്കമുള്ള വസ്തുക്കൾ വെൽഡിംഗ് ചെയ്യുമ്പോൾ വെൽഡിങ്ങ് ഭാഗങ്ങളുടെ വായു പ്രവേശനക്ഷമതയ്ക്ക് വിധേയമാണ്, ഇത് പൈപ്പിനുള്ളിലും പുറത്തും വാതകങ്ങൾ പരസ്പരം തുളച്ചുകയറുകയും കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുന്ന വാതകത്തിന്റെ ശുദ്ധതയും വരൾച്ചയും വൃത്തിയും നശിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഞങ്ങളുടെ എല്ലാ ശ്രമങ്ങളും.

ചുരുക്കത്തിൽ, ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസിനും പ്രത്യേക ഗ്യാസ് ട്രാൻസ്മിഷൻ പൈപ്പ്ലൈനിനും, ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി പൈപ്പ്ലൈൻ സംവിധാനം (പൈപ്പുകൾ, ഫിറ്റിംഗുകൾ, വാൽവുകൾ, വിഎംബി, വിഎംപി എന്നിവയുൾപ്പെടെ) നിർമ്മിക്കുന്നതിന്, ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പിന്റെ പ്രത്യേക ചികിത്സ ഉപയോഗിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതക വിതരണം ഒരു സുപ്രധാന ദൗത്യം വഹിക്കുന്നു.

ട്രാൻസ്മിഷൻ, ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ പൈപ്പ് ലൈനുകൾക്കായുള്ള ക്ലീൻ ടെക്നോളജിയുടെ പൊതു ആശയം

പൈപ്പിംഗ് ഉപയോഗിച്ചുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധവും ശുദ്ധവുമായ ഗ്യാസ് ബോഡി ട്രാൻസ്മിഷൻ അർത്ഥമാക്കുന്നത്, കൊണ്ടുപോകേണ്ട വാതകത്തിന്റെ മൂന്ന് വശങ്ങൾക്ക് ചില ആവശ്യകതകളോ നിയന്ത്രണങ്ങളോ ഉണ്ടെന്നാണ്.

വാതക പരിശുദ്ധി: gGas പരിശുദ്ധിയിലെ അശുദ്ധമായ അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ ഉള്ളടക്കം: വാതകത്തിലെ അശുദ്ധമായ അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ ഉള്ളടക്കം, സാധാരണയായി 99.9999% പോലെ വാതക പരിശുദ്ധിയുടെ ശതമാനമായി പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു, അശുദ്ധമായ അന്തരീക്ഷ ഉള്ളടക്കത്തിന്റെ വോളിയം അനുപാതമായും പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു, ppm, ppb, ppt.

വരൾച്ച: വാതകത്തിലെ ഈർപ്പത്തിന്റെ അളവ്, അല്ലെങ്കിൽ ഈർപ്പം എന്ന് വിളിക്കപ്പെടുന്ന അളവ്, സാധാരണയായി അന്തരീക്ഷമർദ്ദം മഞ്ഞു പോയിന്റ് -70 പോലെയുള്ള മഞ്ഞു പോയിന്റിന്റെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു.സി.

ശുചിത്വം: വാതകത്തിൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്ന മലിനീകരണ കണങ്ങളുടെ എണ്ണം, µm കണങ്ങളുടെ വലുപ്പം, എത്ര കണികകൾ/M3 പ്രകടിപ്പിക്കണം, കംപ്രസ് ചെയ്ത വായുവിന്, സാധാരണയായി എണ്ണയുടെ ഉള്ളടക്കം ഉൾക്കൊള്ളുന്ന ഒഴിവാക്കാനാവാത്ത ഖര അവശിഷ്ടങ്ങളുടെ എത്ര മില്ലിഗ്രാം/m3 എന്നതിന്റെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു. .

മലിനീകരണ വലുപ്പ വർഗ്ഗീകരണം: മലിനീകരണ കണികകൾ, പ്രധാനമായും പൈപ്പ് ലൈൻ സ്‌കോറിംഗ്, തേയ്മാനം, ലോഹകണങ്ങൾ, അന്തരീക്ഷത്തിലെ മണം കണികകൾ, അതുപോലെ സൂക്ഷ്മാണുക്കൾ, ഫാജുകൾ, ഈർപ്പം അടങ്ങിയ വാതക ഘനീഭവിക്കുന്ന തുള്ളികൾ തുടങ്ങിയവയാൽ ഉണ്ടാകുന്ന നാശത്തെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. ആയി തിരിച്ചിരിക്കുന്നു

a) വലിയ കണങ്ങൾ - 5μm ന് മുകളിലുള്ള കണികാ വലിപ്പം

b) കണിക - മെറ്റീരിയൽ വ്യാസം 0.1μm-5μm

സി) അൾട്രാ-മൈക്രോ കണികകൾ - കണികാ വലിപ്പം 0.1μm ൽ കുറവാണ്.

ഈ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പ്രയോഗം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന്, കണങ്ങളുടെ വലിപ്പവും μm യൂണിറ്റുകളും മനസ്സിലാക്കാൻ, റഫറൻസിനായി ഒരു പ്രത്യേക കണികാ നിലയുടെ ഒരു കൂട്ടം നൽകിയിരിക്കുന്നു.

പ്രത്യേക കണങ്ങളുടെ താരതമ്യമാണ് താഴെ കൊടുത്തിരിക്കുന്നത്