അർദ്ധചാലക ഫാബ്രിക്കേഷനിൽ, വാതകങ്ങൾ എല്ലാ ജോലികളും ലേസർക്കും എല്ലാ ശ്രദ്ധയും ലഭിക്കുന്നു. ലേസർമാർ ട്രാൻസിസ്റ്റർ പാറ്റേണുകൾ സിലിക്കണിലേക്ക് കൊള്ളയടിക്കുമ്പോൾ, ആദ്യം സിലിക്കൺ നിക്ഷേപിക്കുകയും പൂർണ്ണമായ സർക്യൂട്ടുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ ലേസർ തകർക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഒരു മൾട്ടി-സ്റ്റേജ് പ്രോസസ്സിലൂടെ മൈക്രോപ്രൊസസ്സറുകൾ വികസിപ്പിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഈ വാതകങ്ങൾ ഉയർന്ന വിശുദ്ധിയാണ്. ഈ പരിമിതിക്ക് പുറമേ, അവയിൽ പലതും മറ്റ് ആശങ്കകളും പരിമിതികളും ഉണ്ട്. ക്രാജനിക് മാത്രമാണ് ചില വാതകങ്ങൾ, മറ്റുള്ളവ നശിപ്പിക്കുന്നവയാണ്, ഇപ്പോഴും മറ്റുള്ളവർ വളരെ വിഷാംശം.
എല്ലാവരിലും, ഈ പരിമിതികൾ അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിന് ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനങ്ങൾ ഗണ്യമായ വെല്ലുവിളിയാക്കുന്നു. മെറ്റീരിയൽ സവിശേഷതകൾ ആവശ്യപ്പെടുന്നു. ഭ material തിക സവിശേഷതകൾക്ക് പുറമേ, പരസ്പരബന്ധിതമായ ഒരു സംവിധാനങ്ങളുടെ സങ്കീർണ്ണമായ ഇലക്ട്രോമെട്ടാണിക്കൽ നിരയാണ് ഗ്യാസ് വിതരണ അറേ. അവർ ഒത്തുചേരുന്ന പരിതസ്ഥിതികൾ സങ്കീർണ്ണവും ഓവർലാപ്പുപവുമാണ്. ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ പ്രക്രിയയുടെ ഭാഗമായി അന്തിമ ഫാബ്രിക്കേഷൻ സൈറ്റിൽ നടക്കുന്നു. ഇറുകിയ, വെല്ലുവിളി നിറഞ്ഞ പരിതസ്ഥിതികളിൽ കൂടുതൽ കൈകാര്യം ചെയ്യാവുന്ന സമയത്ത് ഉൽപ്പാദനം നടത്തുന്നതിനിടയിൽ ഗ്യാസ് വിതരണ ആവശ്യകതകളുടെ ഉയർന്ന സവിശേഷതകളെ തടയാൻ പരിക്രമണ സോളിംഗ് സഹായിക്കുന്നു.
അർദ്ധചാലക വ്യവസായം എങ്ങനെ വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു
ഒരു വാതക വിതരണ സംവിധാനം ആസൂത്രണം ചെയ്യാൻ ശ്രമിക്കുന്നതിന് മുമ്പ്, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിന്റെ അടിസ്ഥാനകാര്യങ്ങളെങ്കിലും മനസ്സിലാക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. അതിന്റെ കാമ്പിൽ, അർദ്ധചാലകക്കാർ എക്സെമെൻറൽ സോളിഡുകൾ ഒരു ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു ഉപരിതലത്തിൽ വളരെയധികം നിയന്ത്രിത രീതിയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. അധിക വാതകങ്ങൾ, ലേസർ, കെമിക്കൽ എച്ചന്റുകൾ, ചൂട് എന്നിവ അവതരിപ്പിച്ചുകൊണ്ട് നിക്ഷേപിച്ച ഈ ഖരപഭാക്ഷങ്ങൾ പരിഷ്ക്കരിച്ചു. വിശാലമായ പ്രക്രിയയിലെ ഘട്ടങ്ങൾ ഇവയാണ്:
നിക്ഷേപം: പ്രാരംഭ സിലിക്കോൺ വേഫർ സൃഷ്ടിക്കുന്ന പ്രക്രിയയാണിത്. സിലിക്കൺ മുൻഗാമികളായ വാതകങ്ങൾ ഒരു വാക്വം ഡിപ്ഷൻഷൻ ചേമ്പറിലേക്ക് പമ്പ് ചെയ്യുകയും രാസ അല്ലെങ്കിൽ ശാരീരിക ഇടപെടലിലൂടെ നേർത്ത സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി: ഫോട്ടോ വിഭാഗം ലേസറുകളെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. ഉയർന്ന എക്സ്ട്രീം അൾട്രാവിയോലറ്റ് ലിത്തോഗ്രാഫി (ഇ.യു) സ്പെക്ട്രം ഏറ്റവും ഉയർന്ന സവിശേഷത ചിപ്പുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഒരു കാർബൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ് ലേസർ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
കൊത്തിയെടുക്കുന്ന ഘട്ടത്തിൽ, സിലിക്കൺ കെ.ഇ.യിൽ തിരഞ്ഞെടുത്ത മെറ്റീരിയലുകൾ സജീവമാക്കാനും ലയിപ്പിക്കാനും ഹാലോജൻ-കാർബൺ ഗ്യാസ് അറയിലേക്ക് പമ്പ് ചെയ്യുന്നു. ഈ പ്രക്രിയ സബ്സ്റ്റേറ്റിൽ ലേസർ-അച്ചടിച്ച സർക്യൂട്ടിയെ ഫലപ്രദമായി കൊത്തുപണി ചെയ്യുന്നു.
ഡോപ്പിംഗ്: അർദ്ധചാലകത്തെ നടത്തുന്ന കൃത്യമായ വ്യവസ്ഥകൾ നിർണ്ണയിക്കാൻ നശിപ്പിക്കപ്പെട്ട ഉപരിതലത്തിന്റെ പെരുമാറ്റം മാറ്റുന്ന ഒരു അധിക ഘട്ടമാണിത്.
അനെലിംഗ്: ഈ പ്രക്രിയയിൽ, എലവേറ്റഡ് മർദ്ദവും താപനിലയും ഉപയോഗിച്ച് വേഫർ ലെയറുകളികൾ തമ്മിലുള്ള പ്രതികരണങ്ങൾ പ്രവർത്തനക്ഷമമാണ്. അടിസ്ഥാനപരമായി, ഇത് മുമ്പത്തെ പ്രോസസ്സിന്റെ ഫലങ്ങൾ അന്തിമമാക്കുകയും അന്തിമരൂപം വേദനിപ്പിക്കുകയും വേണുതിയിൽ അന്തിമ പ്രോസസർ സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ചേംബർ, ലൈൻ ക്ലീനിംഗ്: മുൻ ഘട്ടങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ, പ്രത്യേകിച്ച് കൊപ്പും ഡോപ്പിംഗ്, പലപ്പോഴും വിഷാത്മകവും പ്രതിപ്രവർത്തനവുമാണ്. അതിനാൽ, പ്രോസസ് ചേംബറും ഗ്യാസ് ലൈനുകളും ഭക്ഷണം നൽകുന്നത് ദോഷകരമായ പ്രതികരണങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനോ ഇല്ലാതാക്കുന്നതിനോ നിർവീര്യമാക്കേണ്ടതുണ്ട്, തുടർന്ന് പുറം പരിസ്ഥിതിയിൽ നിന്ന് മലിനമാകുന്ന ഏതെങ്കിലും വാതകങ്ങൾ തടയാൻ ഇണൽ വാതകങ്ങൾ നിറയും.
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനങ്ങൾ പലപ്പോഴും സങ്കീർണ്ണമാണ്, കാരണം വ്യത്യസ്ത വാതകങ്ങൾ, ഗ്യാസ് ഫ്ലോയുടെ ഇറുകിയ നിയന്ത്രണം, കാലക്രമേണ പരിപാലിക്കേണ്ട താപനിലയും സമ്മർദ്ദവും. ഈ പ്രക്രിയയിൽ ഓരോ വാതകത്തിനും ആവശ്യമായ അൾട്രാ-ഉയർന്ന വിശുദ്ധിയാണ് ഇത് കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമാക്കുന്നത്. മുമ്പത്തെ ഘട്ടത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ വരികളിൽ നിന്നും അറകളിൽ നിന്നും ചമക്കളിൽ നിന്നും പുറത്തെടുക്കുകയോ അല്ലെങ്കിൽ പ്രക്രിയയുടെ അടുത്ത ഘട്ടത്തിന് മുമ്പ് നിർത്തുകയോ ചെയ്യണം. ഇതിനർത്ഥം, ധാരാളം പ്രത്യേക ലൈനുകളും, ഇംഡിഡ് ട്യൂബ് സിസ്റ്റവും ഹോസുകളും തമ്മിലുള്ള ഇന്റർഫേസുകളും, പ്രകൃതിവാതക വിതരണത്തിന്റെയും ഗ്യാസ് റെഗുലേറ്ററുകളും സെൻസറുകളും തമ്മിലുള്ള ഇന്റർഫേസുകളും, മുമ്പത്തെ പരാമർശിക്കുന്ന എല്ലാ ഘടകങ്ങളും, മുമ്പത്തെ പരാമർശങ്ങൾ, മുദ്രകളാണ്, പ്രകൃതിവാതക വിതരണങ്ങൾ എന്നിവയും തമ്മിലുള്ള ഇന്റർഫേസുകൾ, കൂടാതെ, പ്രകൃതിവാതക വിതരണത്തിന്റെ എല്ലാ ഘടകങ്ങളും, മുമ്പത്തെ പരാമർശങ്ങളും തമ്മിലുള്ള ഇന്റർഫേസുകളും, അവയുടെ പ്രകൃതിവാതക വിതരണത്തിന്റെയും ഇടപഴകുന്നതും തമ്മിലുള്ള ഇന്റർഫേസുകളും, അവയുടെ പ്രകൃതിവാതക വിതരണത്തിന്റെയും ഇടപഴകുന്നതും തമ്മിലുള്ള ഇന്റർഫേസുകളും, കൂടാതെ, പ്രകൃതി വാതക വിതരണത്തിന്റെ എല്ലാ ഘടകങ്ങളും, മുമ്പത്തെ പരാമർശങ്ങൾക്കും ഇടപഴകുന്നത്, പ്രകൃതിവാതക വിതരണത്തെ സ്വാധീനിക്കുന്നത് തടയുന്നതിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത എല്ലാ ഘടകങ്ങളും.
കൂടാതെ, ക്ലീൻ റൂം എലിറ്റി വാതകങ്ങൾക്കും ക്ലീൻ റൂം പരിതസ്ഥിതികളിൽ ബൾക്ക് ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനങ്ങൾ സജ്ജീകരിക്കുകയും ആകസ്മികമായ ചോർച്ചയുണ്ടായ സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഏതെങ്കിലും അപകടങ്ങൾ ലഘൂകരിക്കുകയും ചെയ്യും. ഈ വാതക സംവിധാനങ്ങളെ വെൽഡിംഗ് എളുപ്പമുള്ള കാര്യമല്ല. എന്നിരുന്നാലും, ശ്രദ്ധയോടെ, വിശദാംശങ്ങളിലേക്കുള്ള ശ്രദ്ധയും ശരിയായ ഉപകരണങ്ങളും, ഈ ടാസ്ക് വിജയകരമായി പൂർത്തിയാക്കാൻ കഴിയും.
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനങ്ങൾ
അർദ്ധചാലക വാതക വിതരണ സംവിധാനങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന മെറ്റീരിയലുകൾ വളരെ വേരിയബിൾ ആണ്. ഉയർന്ന അസ്ഥിബന്ധമുള്ള വാതകങ്ങളെ ചെറുക്കുന്നതിന് PTFE-NTENDED PIPES, ഹോസുകൾ തുടങ്ങിയ കാര്യങ്ങൾ അവയിൽ ഉൾപ്പെടുത്താം. അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ പൊതു ആവശ്യങ്ങൾക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഏറ്റവും സാധാരണമായ മെറ്റീരിയൽ 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ആണ് - കുറഞ്ഞ കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ വേരിയൻറ്. 316L എന്ന 316. 316, 316 എൽ, 316 എൽ, സംഗ്രഹ നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കും. കാർബണിനെ കോറെ ചെയ്യാനാകുന്ന ഉയർന്ന റിയാക്ടർ, സാധ്യതയുള്ള വാതകങ്ങൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ ഇത് ഒരു പ്രധാന പരിഗണനയാണ്. വെൽഡിംഗ് 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ കാർബൺ വീടുകൾ പുറത്തിറക്കുന്നു. ധാന്യ അതിർത്തി നലപിക്കാനുള്ള സാധ്യതയും ഇത് കുറയ്ക്കുന്നു, ഇത് വെൽഡുകളിലും ചൂട് ബാധിത മേഖലകളിലും നാശത്തിലേക്ക് നയിക്കും.
ഉൽപ്പന്ന ലൈൻ നാശനിയോഗത്തിനും മലിനീകരണത്തിനും കാരണമാകുന്ന നാശത്തിന്റെ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നതിന്, ശുദ്ധമായ ആർഗോൺ ഷിൽഡിംഗ് ഗ്യാസ്, ടങ്സ്റ്റൺ ഗ്യാസ് ഷീൽഡ് വെൽഡ് റെയിലുകൾ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് ഇംപേഷിന്റെ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നതിന് അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ സ്റ്റാൻഡേർഡാണ്. പ്രോസസ് പൈപ്പിംഗിൽ ഉയർന്ന വിശുദ്ധി പരിസ്ഥിതി നിലനിർത്താൻ ആവശ്യമായ നിയന്ത്രണം നൽകുന്ന ഒരേയൊരു വെൽഡിംഗ് പ്രക്രിയ. യാന്ത്രിക പ്രവർത്തനരഹിതമായ ഗ്യാസ് വിതരണത്തിൽ മാത്രമേ ലഭ്യമാകൂ
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂലൈ -12023